硅烷 光伏级99.999%电子级99.9999% 适配光伏电子产业 气源——温州迎跃新材料
甲硅烷(Silane, SiH₄)
产品简介
迎跃新材料电子级高纯甲硅烷,采用多级精馏纯化工艺,严格控制杂质含量。是光伏、半导体行业不可或缺的特种气体,用于硅基薄膜沉积、外延生长等关键工艺。
理化特性(25℃/101.3kPa标准状态)
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参数项 |
数值 |
安全提示 |
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分子式 |
SiH₄ |
- |
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分子量 |
32.12 |
- |
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CAS号 |
7803-62-5 |
- |
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UN编号 |
2203 |
- |
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沸点 |
-111.9℃ |
常温下为气体 |
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熔点 |
-185.0℃ |
- |
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相对密度(空气=1) |
1.11 |
比空气略重 |
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液体密度(-112℃) |
0.68g/cm³ |
- |
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蒸汽压 |
>101kPa(21℃) |
钢瓶内为高压状态 |
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溶解性 |
不溶于水,微溶于乙醇、苯 |
- |
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外观气味 |
无色气体,无臭无味 |
泄漏时难以察觉 |
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爆炸极限 |
0.8%~98.0%(体积分数) |
极宽爆炸范围,极度危险 |
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自燃温度 |
<21℃ |
常温下可自燃 |
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危险性类别 |
第2.1类易燃气体;第4.2类自燃物品 |
遇空气即燃,燃烧产生有毒二氧化硅烟雾 |
纯度分级(2026国标修正)
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品级 |
纯度(摩尔分数) |
水分含量 |
总烃(THC) |
乙硅烷 |
总金属离子 |
对应标准 |
应用场景 |
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光伏级(5.0N) |
≥99.999% |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.5ppm |
≤1ppb |
GB/T 14605-2023 |
硅基薄膜太阳能电池镀膜 |
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电子级(6.0N) |
≥99.9999% |
≤0.1ppm |
≤0.1ppm |
≤0.1ppm |
≤0.1ppb |
GB/T 14605-2023 |
半导体非晶硅、多晶硅外延生长 |
全球合规包装与充装(2026国标全合规)
法定充装系数:0.30kg/L(15MPa钢瓶,GB/T 14193.1-2025表3第5项)
钢瓶公称工作压力:15MPa
1. 钢瓶包装:40L国标钢瓶、47L DOT钢瓶
2. 实验室小瓶:4L、8L不锈钢高压钢瓶
3. 阀门:不锈钢防爆专用阀门,符合GB 15382标准
气瓶颜色标志(GB/T 7144-2016)
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项目 |
标准要求 |
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瓶身颜色 |
银灰色 |
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字样 |
甲硅烷 |
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字色 |
大红色 |
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色环 |
无 |
气瓶警示标签(GB 16804-2011)
• 警示词:危险
• 危险性说明:自燃气体,常温下遇空气即燃;极易燃,爆炸范围极宽;燃烧产生有毒烟雾
• 防范说明:密闭操作,全面通风;使用防爆型设备;严禁烟火;气瓶直立存放
• 应急说明:泄漏时立即切断气源;严禁直接接触泄漏物;用惰性气体吹扫泄漏区
核心应用
• 光伏产业:硅基薄膜太阳能电池镀膜
• 半导体行业:非晶硅、多晶硅薄膜外延生长
• 新材料行业:有机硅合成、特种涂层制备
• 科研领域:纳米材料制备
产品优势
• 符合GB/T 14605-2023国家标准,满足先进半导体工艺要求
• 严格的安全管控,充装过程全程视频监控
• 气瓶标识符合国家强制标准
• 稳定的供货能力,保障客户生产连续性
• 专业的技术团队,提供应用技术支持
合规配套
提供SDS、CoA、运输鉴定报告、气瓶充装记录、气瓶检验报告等全套文件。

